ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

Обозначение:	ГОСТ 26239.8-84
Статус:	действующий
Название рус.:	Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Название англ.:	Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	10.08.2017
Дата издания:	21.01.1985
Дата введения в действие:	01.01.1986
Дата последнего изменения:	13.07.2017
Область и условия применения:	Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
Список изменений:	№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»
Страниц:	9
Ссылки для скачивания:	Скачать ГОСТ 26239.8-84 в формате GIF Скачать ГОСТ 26239.8-84 в формате PDF