.svg){kind=icon}
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
| Статус: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
| Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 10.08.2017 |
| Дата издания: | 24.04.2007 |
| Дата введения в действие: | 30.06.2007 |
| Дата последнего изменения: | 13.07.2017 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
| Страниц: | 8 |
| Ссылки для скачивания: |
