ГОСТ Р 8.628-2007 - Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:ГОСТ Р 8.628-2007
Статус:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата введения в действие:01.02.2008
Область и условия применения:Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Список изменений:№1 от 01.04.2011 (рег. 12.11.2010) «Срок действия продлен»
Приложение №1:Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007


ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007
ГОСТ Р 8.628-2007


Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

Обозначение:Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
Дата введения в действие:01.04.2011
Дата актуализации:19.06.2011


Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007




cons_1.jpg