ГОСТ 8.592-2009 - Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:ГОСТ 8.592-2009
Статус:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата введения в действие:01.11.2010
Область и условия применения:Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов


ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009
ГОСТ 8.592-2009




ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

ПОДПИСАТЬСЯ
Все адреса защищены от спама!