ГОСТ Р 8.640-2008 - Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение:ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата введения в действие:01.01.2009
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок


ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТ Р 8.640-2008




События

28 апреля

всемирный день охраны труда

Всемирный день охраны труда