ГОСТ 5.2105-73 - Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение:ГОСТ 5.2105-73
Статус:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата введения в действие:31.08.1973
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов


ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73
ГОСТ 5.2105-73




События

28 апреля

всемирный день охраны труда

Всемирный день охраны труда